美國聯邦標準 Federal STD-209 已長時間被使用, 其定義為一立方英呎(1ft3) 中的 0.5μm 以上的粒子數目。目前,ISO 14644-1 已成為世界上唯一評估潔淨室等級的國際標準.
ISO 14644-1 於 1999 年發表, 在 2015 年 12 月進行了 16 年來的第一次修正,修正後為ISO 14644-1:2015
主要修正內容
●低濃度微粒粒子上限濃度的廢除
● 潔淨室之認證測試的 95%UCL 廢除,每平方公尺的測量點數量更改(平方根的規則廢除)
修正前潔淨室的測量點最小數目為「測量點數=√待測面積」所決定、改訂後為「Table A.1」指定的測量點的數量。
●指定測量次數刪除
修正前,若只有一個測量點位,則該點必須測量至少三次,修正後不再要求測量次數。
潔淨室標準(ISO 14644-1:2015)