超純淨閥件產品

設計特點

• UHP等級，適用於半導體製程氣體供應

• 在流體流動路徑上無顆粒生成或磨損

• 表面積及內部容積之最小化

• 合適的表面化學特性及低表面粗糙度

• 僅金屬密封處接觸外界環境

• 所有的內部螺牙都不接觸流體介質

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製造特色

• 無塵室Class 100 環境中進行熔接組裝、測試及封裝

• 高溫去離水清洗及烘乾

• 每個製作過程都經過100%的嚴格檢驗及測試

• 出廠產品建立各別序號，以供後續追蹤

​隔膜閥

​減壓閥